基本性能
| 最大印加電圧 | 10kV（HVユニット使用時） |
|---|---|
| 最大測定抵抗 | 10000PΩ |
| 測定周期 | 20msec／CH |
| 測定チャンネル数 | 8〜128ch（構成による） |
| 電流測定レンジ | 3.2mA〜320pA |
| 出力パルス | ±100V（最大25kHz） |
| SMUボード構成方式 | フォースコモン方式／パーピン方式 |
製品特徴
3タイプの筐体ラインアップ
- 標準筐体：SMUボード最大8枚搭載。研究・評価用の中心モデル。
- mini筐体：コンパクトながら高精度測定に対応。開発現場向け。
- SLIM筐体：最小構成で設置性に優れる1枚構成。
業界最高水準の測定精度のSMU計測ボード
SIR13は、独自開発のSMU計測ボードを搭載。絶縁抵抗・絶縁特性・マイグレーション挙動を同時に高精度測定します。フォースコモン方式とパーピン方式の2種類の構成方式があり、試験目的に応じて最適な測定環境を選択できます。
SMUボード種別
以下はSIR13に搭載可能な各種SMUボードおよびHVユニットの仕様一覧です。電圧レンジや測定チャンネル数に応じて構成を柔軟に組み合わせることができます。
ボード種別印加電圧レンジ測定チャンネル数主な用途
250Vフォースコモン0〜250V16ch/SMU片極共通試料向け、認定評価など
250Vパーピン0〜250V8ch/SMU独立印加・高電圧評価向け
構成方式
フォースコモン方式（250Vフォースコモンボード）
- 電源構成：共通のDC定電圧源を8ch単位で共有し、チャンネルごとに直流電流計を搭載。
- 測定対象：片極共通の試料や認定評価など、複数試料を一括監視する用途。
- 用途：信頼性試験、材料評価の初期段階などに最適。
パーピン方式（250V／250VHP／500V／1kVボード）
- 電源構成：チャンネルごとに独立したDC定電圧源と電流計を搭載。
- 測定対象：高電圧・独立印加を必要とする試料（車載部品、高耐圧材料など）。
- 用途：高電圧試験、絶縁耐久評価などの産業応用に最適。
印加電圧
250V／500V／1kVなどのボードを組み合わせ、材料特性から高電圧試験まで柔軟に対応。最大10kVまで拡張可能。
エレクトロケミカルマイグレーション測定
SIR13は、絶縁劣化や導通不良の要因となるエレクトロケミカルマイグレーション（ECM）現象を、時間軸で詳細に解析できるよう設計されています。絶縁抵抗の変化やリーク電流の微小変動を高速サンプリングで記録し、発生から終息までの挙動を可視化します。
測定・解析機能
- 全CH同時監視（20msec周期）：微小電流計を全チャンネルに内蔵し、ECMの発生から終息までをリアルタイムに記録。瞬時リークを逃しません。
- プレビアス（Previous）機能：イオンマイグレーション発生の前後データ（発生前128ポイント＋発生後151ポイント）を取得し、初期兆候や進行メカニズムを解析可能。
- 自動グラフ化機能：時間経過による絶縁抵抗変化をグラフ化し、ECM発生の時点を明確に可視化。
- 現象の特定：発生域・終息域を個別チャンネルごとに判定し、経時変化を比較解析。
- 解析支援：個別CHごとのマイグレーション波形データを抽出可能。
測定モード
ECM測定には3つのモードを備え、評価目的に応じて選択できます。
- 時間モード：試験時間満了まで電圧印加を継続し、経時的な変化を評価。
- ポイントトリガモード：ECM発生を検出したチャンネルのみ印加を停止。効率的なデータ収集が可能。
- グループトリガモード：発生チャンネルを含むグループ全体の印加を停止し、局所的な発生の影響を解析。
測定パラメータ
- 測定周期：最短20msec（リークチェック時400μsec）
- 抵抗測定範囲：最大1000TΩ（1kVボード使用時）
- 電流レンジ：3.2mA〜320pA（自動切替可）
拡張ユニット HV-1500／3000／6000／10000
高電圧ユニットを追加することで、最大10kVまでの印加が可能です。研究・産業分野での高電圧評価試験に対応し、幅広いレンジ設定を実現します。
基本性能
| 最大印加電圧 | 1.5kV／3kV／6kV／10kV |
|---|---|
| 最大測定抵抗 | 1500PΩ／3000PΩ／6000PΩ／10000PΩ |
| チャンネル数 | 8〜64ch |
| 印加電圧レンジ | 25V／250V／HV |
| 測定電流レンジ | 3.2mA／320μA／3.2μA／32nA／320pA |
| 印加方式 | パーピン（1電源／ch） |
±100Vパルスストレスボード
±100Vパルスボードを使用することで、最大25kHzのパルス出力が可能。t1〜t4の時間と電圧を設定して自由な波形を生成できます。
操作性
- 全チャネル同時監視と高速サンプリングにより、試験中の挙動を詳細に把握できます。
- 解析機能によりECM発生前後データの比較検証がしやすい構成です。
環境対応
試験条件の最適化や高効率運用により、評価プロセス全体の負荷低減が可能です。